Ditapis dengan

  • Tahun Penerbitan
  • Ketersediaan
  • Lampiran
  • Tipe Koleksi
    Lihat Lebih Banyak
  • Format Fisik Dokumen
    Lihat Lebih Banyak
  • Lokasi
    Lihat Lebih Banyak
  • Bahasa
    Lihat Lebih Banyak
Ditemukan 1 dari pencarian Anda melalui kata kunci: author="SZE, Simon M."
cover
Fundamentals of Semiconductor Fabrication
Komentar Bagikan
MAY, Gary S.SZE, Simon M.

Chapter 1 Introduction 1 Chapter 2 Crystal Growth 17 Chapter 3 Silicon Oxidation 41 Chapter 4 Photolithography 60 Chapter 5 Etching 85 Chapter 6 Diffusion 105 Chapter 7 Ion Implantation 124 Chapter 8 Film Deposition 144 Chapter 9 Process Integration 182 Chapter 10 IC Manufacturing 226 Chapter 11 Future Trends and Challenges 259 This concise introducti…

Edisi
1st
ISBN/ISSN
0-471-23279-3
Deskripsi Fisik
xiii, 305 hal. : ilus. ; 26 cm
Judul Seri
-
No. Panggil
621.381.52 MAY f