VCD

Perancangan Metal Thermal Evaporator Untuk Pelapisan Material Dengan Film Tipis Menggunakan Metode VDI 2222

---

Teknologi pelapisan film tipis merupakan teknologi yang telah banyak digunakan
terutama untuk melapisi material sehingga mendapat mendapat hasil yang berbeda
pada permukaan material awal. Salah satu alat bantu yang digunakan dalam
pelapisan film tipis adalah Metal Thermal Evaporator (MTE). Fungsi dari
pelapisan film tipis ini adalah untuk meningkatkan kualitas permukaan material,
mengubah sifat material sehingga permukaan material memiliki sifat material
pelapis. Syarat pelapisan film tipis dengan cara evaporasi material pelapis dalam
kondisi tekanan vakum. Penelitian ini bertujuan untuk merancang konstruksi
mesin MTE dalam skala prototipe sebagai tahap pengembangan sebelum
diimplementasi dalam skala sebenarnya. Perancangan mesin ini menggunakan
metode VDI 2222 yang terdiri dari tahapan merencana, mengonsep, merancang
dan penyelesaian. Berdasarkan tahapan perancangan tersebut, maka diperoleh
rancangan konstruksi mesin MTE dengan dimensi luas maksimal substrat 80x30
[mm] dengan tekanan vakum hingga 1x10-3 Torr dan kemampuan suhu pemanas
hingga 1500°C serta material pelapis yang digunakan yaitu aluminum dengan
waktu evaporasi sekitar 2 menit sehingga dihasilkan lapisan film tipis dengan
ketebalan berkisar antara skala mikrometer hingga nanometer. Hasil analisis
tegangan pada ruang vakum sekitar 9,78 [MPa] dengan defleksi maksimal 0,016
[mm] dan defleksi pada rangka mesin sebesar 0,035 [mm] sehingga mesin MTE
mampu menahan beban dan tekanan vakum. Penilaian terhadap rancangan ini
menunjukkan bahwa mesin telah memenuhi tuntutan secara teknis dan
menghasilkan hasil yang baik pada perhitungan statis.
Kata kunci : Pelapisan, Film Tipis, Metal Thermal Evaporator, VDI2222

---

Ketersediaan

Informasi Detail

Judul Seri

-

No. Panggil

CD-2230163.1

Penerbit

Bandung : Polman., 2023

Deskripsi Fisik

-

Bahasa

Indonesia

ISBN/ISSN

-

Klasifikasi

NONE

Tipe Isi

-

Tipe Media

-

Tipe Pembawa

-

Edisi

D4 Prodi Teknologi Rekayasa Manufaktur 2023

Subjek

-

Info Detail Spesifik

-

Pernyataan Tanggungjawab

-

Versi lain/terkait

Lampiran Berkas

Komentar

---

Anda harus masuk sebelum memberikan komentar