Printed

Pengembangan Dan Rancang Bangun Sistem Pemanas Mesin Metal Thermal Eaporator

---

Kemajuan teknologi memainkan peran krusial dalam sektor pengolahan nonmigas di Indonesia, yang mencapai 17,90% dari PDB nasional pada 2021. Salah
satu contohnya adalah pengembangan teknologi pelapisan material. Penelitian ini
fokus pada pengembangan teknologi lapisan film tipis yang dihasilkan melalui
evaporasi material menggunakan mesin metal thermal evaporator pada ruang
vakum dengan suhu tinggi. Pengendalian suhu dan tekanan vakum adalah kunci
untuk memastikan kualitas produk yang dihasilkan. Tujuan penelitian ini adalah
mengatasi masalah sistem pemanas yang belum tersedia serta belum mencapai
suhu target dan pengembangan mesin untuk mengatasi kebocoran sistem vakum
pada mesin metal thermal evaporator. Untuk pengembangan pada sistem vakum,
digunakan metode air leak test untuk mengetahui titik kebocoran sehingga bisa
dilakukan perbaikan. Pada rancang bangun sistem pemanas, digunakan metode
VDI 2222 yang terdiri dari beberapa tahapan: merencanakan, mengonsep,
merancang, dan penyelesaian. Hasil pengembangan pada sistem vakum yang
dilakukan, menunjukan nilai kevakuman sebesar 70 cmHg atau sekitar 92,11%
dengan menggunakan pompa jenis rotary vane yaitu Oerlikon Leybold Vacuum
Trivac D 2,5 E. Dari hasil uji coba mesin, hasil lapisan masih belum murni dan
masih memiliki kandungan oksigen. Kandungan oksigen yang dihasilkan dari 3
sampel rata-rata menghasilkan kandungan oksigen sebesar 72,16% yang diukur
dengan mengunakan mesin energy dispersive spectrometry (EDS) dengan
pengambilan tiga kali sampel substrat. Berdasarkan metode rancang bangun
sistem pemanas, sumber arus listrik yang digunakan adalah voltage regulator
yang dipadukan dengan heater jenis tungsten boat. Hasil analisis yang dilakukan
dengan solidwork menunjukkan suhu pada permukaan luar chamber mencapai
suhu 34°C pada suhu evaporasi 660°C dan 65°C pada suhu evaporasi 1400°C.
Kata kunci :Teknologi Pelapisan Material, Metal Thermal Evaporator, Lapisan
Film Tipis, Air Leak Test Metode, VDI 2222.

---

Ketersediaan

Informasi Detail

Judul Seri

-

No. Panggil

TA-2240179.1

Penerbit

Bandung : Polman., 2024

Deskripsi Fisik

-

Bahasa

Indonesia

ISBN/ISSN

-

Klasifikasi

NONE

Tipe Isi

-

Tipe Media

-

Tipe Pembawa

-

Edisi

D4 Prodi Teknologi Rekayasa Manufaktur 2024

Subjek

-

Info Detail Spesifik

-

Pernyataan Tanggungjawab

-

Versi lain/terkait

Lampiran Berkas

Komentar

---

Anda harus masuk sebelum memberikan komentar